你不知道的MEMS與QUARTZ振蕩器相愛相殺的歷史
　　關(guān)于是使用MEMS更好還是QUARTZ比較好,這個問題已經(jīng)存在了至少十年,至今也沒有一個有效的答案,這在學(xué)界和業(yè)界里來說,其說法也比較籠統(tǒng),反正還沒有一個定論.但是行業(yè)里有兩種聲音,一種說是MEMS會替代石英晶振成為頻率元件的主導(dǎo)方向,另一種說法是MEMS無法完全代替QUARTZ.分成兩派誰也無法說服誰,可以說這么多年來硅晶與石英是一種相愛相殺的關(guān)系了,即不能完全擺脫對方的存在,也無法共存或結(jié)合在一起,以下內(nèi)容是有關(guān)于MEMS的發(fā)展歷史,以及與石英晶體/石英晶體振蕩器相爭的過程.
　　微機電系統(tǒng)或MEMS,是可以定義其最一般形式的技術(shù)作為使用微細加工技術(shù)制成的小型機械和機電元件(即設(shè)備和結(jié)構(gòu)).MEMS器件的關(guān)鍵物理尺寸可能從尺寸范圍的下端的一微米以下到幾毫米不等.同樣,MEMS器件的類型可以從沒有移動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到非常復(fù)雜的結(jié)構(gòu).
　　在集成微電子控制下具有多個運動元件的復(fù)雜機電系統(tǒng).MEMS的一個主要標準是”至少有一些元件具有某種機械功能,無論這些元件是否可以移動.”MEMS技術(shù)現(xiàn)在被廣泛用于傳感器和執(zhí)行器應(yīng)用中.此外,MEMS技術(shù)的新興應(yīng)用正在取代傳統(tǒng)的晶體振蕩器.本文將重點研究MEMS與晶體的關(guān)系,以闡明它們在先進電子設(shè)計中的地位.
　　壓電晶體諧振器(晶體振蕩器)是WalterCady博士發(fā)明的,并在1920年代初獲得了專利.1921年,Cady設(shè)計了第一個基于石英晶體諧振器的頻率控制電路,并于1923年獲得了兩項關(guān)于石英晶體諧振器及其在無線電中的應(yīng)用的基本專利.隨后,晶體振蕩器迅速成為控制無線電通信和其他早期電子應(yīng)用中的頻率的標準.
　　上個世紀后期,高頻電子應(yīng)用的快速發(fā)展推動了振蕩器技術(shù)的發(fā)展.已開發(fā)出成本更低的晶體振蕩器替代品,以在頻率精度要求不高的應(yīng)用中提供定時功能.例如,在諸如VCR,電話,玩具之類的應(yīng)用中可以找到陶瓷諧振器,最近,MEMS振蕩器已成為晶體的替代品.
　　根據(jù)新墨西哥大學(xué)西南微系統(tǒng)教育中心在2008年發(fā)表的一篇論文,”自1960年代中期以來,用于MEMS可編程晶振的核心技術(shù)一直在開發(fā)中,但自2006年以來僅在商業(yè)應(yīng)用方面足夠先進.”振蕩器是較老的,更成熟的石英晶體振蕩器的有效替代品,具有更好的抗振動和機械沖擊能力,以及溫度變化方面的可靠性.”
　　從這一表述來看,也許可以得出結(jié)論,晶體振蕩器在標準的層次結(jié)構(gòu)中已經(jīng)失去了地位,但這遠非現(xiàn)實.下頁頂部的圖1所示,SiMEMS器件的框圖由MEMS諧振器,穩(wěn)定的鎖相環(huán)和其他電路組成,以提供溫度穩(wěn)定性.航空航天技術(shù),軍事制導(dǎo)系統(tǒng),井下鉆井控制等領(lǐng)域的應(yīng)用發(fā)展迅速,與性能最佳的MEMS器件相比,整個應(yīng)用范圍更適合于先進的晶體振蕩器.雖然比MEMS昂貴,但晶體振蕩器的固有簡單性增加了它們的可靠性.

　　對有關(guān)MEMS振蕩器性能的詳細信息的搜索會導(dǎo)致大量相互矛盾的信息.在準備本文時,審查了兩個詳盡的報告:
　　維基百科上有關(guān)該主題的文章是來自西南微系統(tǒng)教育中心的引文(上).盡管這是一篇引人注目的文章,但Wikipedia實際上將其標記為具有”寫為廣告的內(nèi)容”.我以為可以假設(shè)許多Wiki帖子都受此困擾.即使這樣,這篇文章還是值得花時間閱讀的.
　　在2014年9月由愛普生晶振(Epson)發(fā)表的白皮書中,也許找到了與高可靠性應(yīng)用相關(guān)的更相關(guān)的信息來源.盡管該論文是由一家公司比較其自己的石英晶體振蕩器與可比較的MEMS器件而制作的,結(jié)果值得考慮.
本文比較了五個關(guān)鍵領(lǐng)域的性能:
相位噪聲和相位抖動
　　實驗室測量表明,晶體振蕩器的相位噪聲要比兩個Si-MEMS振蕩器中的任一個更好.
功耗
　　晶體振蕩器的功耗最低,為1.5mA,比”標準”Si-MEMS可編程晶體振蕩器低5倍,比”低抖動”Si-MEMS振蕩器低20倍.
　　-晶體振蕩器具有最低的功耗,因為它們具有振蕩源的基本諧波振蕩和簡單的電路結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢.
　　-相比之下,Si-MEMS振蕩器消耗的功率更多,因為它們具有更多的電路.
啟動特性
　　與MEMS器件相比,使用具有快速啟動功能的振蕩器可以縮短喚醒周期并延長電池壽命.
頻率溫度特性
　　首次檢查時,Si-MEMS振蕩器的頻率和溫度特性似乎更好.仔細檢查發(fā)現(xiàn),當分頻比切換以補償溫度變化時,Si-MEMS振蕩器會出現(xiàn)跳頻.
頻率穩(wěn)定度
　　“標準”Si-MEMS晶振的跳頻遠遠超過大多數(shù)無線射頻標準.”低抖動”Si-MEMS振蕩器具有更好的性能,但石英振蕩器更加穩(wěn)定.
　　MEMS振蕩器需要更復(fù)雜的電路來執(zhí)行基本功能并補償溫度變化和其他變量(圖1).盡管其本質(zhì)上更為復(fù)雜,但MEMS通常比晶體振蕩器便宜得多.隨著采用新興MEMS拓撲結(jié)構(gòu)實現(xiàn)的所有其他功能,低成本MEMS振蕩器的適應(yīng)性顯然將增加.此外,MEMS振蕩器可以很好地應(yīng)對沖擊和振動.不利的一面是,MEMS振蕩器通常表現(xiàn)出較低的Q值,這會導(dǎo)致較差的相位噪聲和抖動,如參考白皮書所證明的那樣.最后,MEMS器件電路根本無法處理與空間相關(guān)的輻射暴露.
　　考慮到所有這些因素,在眾多應(yīng)用中,MEMS振蕩器是首選解決方案.較低的成本和可接受的性能水平使這些設(shè)備非常適合大批量消費產(chǎn)品,包括手機,玩具,游戲,汽車娛樂/導(dǎo)航系統(tǒng)等.在某些短期應(yīng)用(一次完成)很重要而長期穩(wěn)定性不重要的航空航天應(yīng)用中,也可以考慮使用MEMS.
　　那么,經(jīng)典的高性能晶體振蕩器又在哪里呢?簡單的答案可能是在高性能應(yīng)用程序中,絕對不需要”服務(wù)呼叫”!低地球軌道(LEO)和地球同步軌道衛(wèi)星等空間應(yīng)用是其中之一.像井下鉆井這樣的高溫應(yīng)用將是另一種應(yīng)用.軍事和航空電子應(yīng)用(如導(dǎo)彈制導(dǎo)和導(dǎo)航系統(tǒng))的溫度和頻率穩(wěn)定性至關(guān)重要.高清視頻顯示器中還發(fā)現(xiàn)了貼片石英晶振,除了出色的性能外,其他任何東西都將顯而易見.
　　MEMS技術(shù)正在進入振蕩器應(yīng)用領(lǐng)域,其低成本提供了一種有吸引力的解決方案.但是,超高可靠性的世界仍然是并將仍然是古老的晶體振蕩器的領(lǐng)域.
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